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FD7004PA硅片研磨機(jī)

FD7004PA硅片研磨機(jī)


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  • 所屬系列:硅片研磨拋光機(jī)
  • 產(chǎn)品型號:FD7004PA
訂購熱線:0755-26527403

FD7004PA硅片研磨機(jī)

主要用途:

本設(shè)備主要用于藍(lán)寶石襯底、藍(lán)寶石外延片、硅片、陶瓷、石英晶體、其他半導(dǎo)體材料等薄形精密零件的單面高精密研磨及拋光。

設(shè)備特點(diǎn):1.本設(shè)備為單面精密研磨設(shè)備,采用先進(jìn)的機(jī)械結(jié)構(gòu)和控制方法,研磨加工效率高,運(yùn)行穩(wěn)定。

2.整機(jī)采用PLC+觸摸屏控制系統(tǒng),設(shè)備參數(shù)設(shè)置和操作簡單方便,系統(tǒng)穩(wěn)定性高。

3.主電機(jī)采用變頻調(diào)速控制,實(shí)現(xiàn)主機(jī)軟啟動、軟停機(jī),降低設(shè)備運(yùn)行沖擊,減少工件損傷。

4.工件研磨壓力采用氣缸加壓方式,通過電氣比例閥控制實(shí)現(xiàn)壓力的閉環(huán)控制,保證極高的施壓精度與穩(wěn)定性。

5.上壓盤采用主動驅(qū)動方式,在確保產(chǎn)品研磨速率的前提下保證各工位研磨加工的統(tǒng)一性。

6.研磨盤與上壓盤都設(shè)置了冷卻水冷卻功能,在保證研磨液發(fā)揮最大效率的同時減少研磨盤面的變形。

7.設(shè)備自帶盤面修整機(jī),盤面修整后可保證0.01mm的盤面平整度。

設(shè)備參數(shù):

磨盤規(guī)格

700mm

陶瓷盤直徑

240-260mm

主電機(jī)功率

4KW/380V

壓盤電機(jī)功率

0.4KW/380V*4(選配)

主電機(jī)轉(zhuǎn)速

100rpmmax

設(shè)備工位數(shù)

4

設(shè)備規(guī)格

1200*1500*2300mm

設(shè)備重量

2000KG


設(shè)備圖片:

3D陶瓷拋光機(jī)650532

該設(shè)備磨拋效果:

2點(diǎn)5D陶瓷后蓋研磨效果圖500

藍(lán)寶石研磨效果500400

技術(shù)參數(shù) 

?  拋光盤尺寸                                                     Φ700mm×   Φ160mm×12.7mm 

?  工作工位                                                      4  組  

?  陶瓷吸盤直徑                                                    Φ305mm  

?  加壓方式                                                      氣缸加壓  

?  主電機(jī)功率                                                     4 KW/380V  

?  工件盤驅(qū)動功率(伺服馬達(dá))                                             0.4KW/380V ×4 (選配)  

?  工作氣壓                                                      0.4-0.6MPa  

?  工件盤轉(zhuǎn) 速                                                    1-40rpm  

?  拋光盤轉(zhuǎn)速                                                     5- 100rpm  

?  加工粗糙度                                                     Ra:0.0002  

?  設(shè)備總重量                                                     1800 kg  

?  外形尺寸L ×W ×H                                               950 ×1350 ×2300 mm  


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