FD7004PA硅片研磨機(jī)
主要用途:
本設(shè)備主要用于藍(lán)寶石襯底、藍(lán)寶石外延片、硅片、陶瓷、石英晶體、其他半導(dǎo)體材料等薄形精密零件的單面高精密研磨及拋光。
設(shè)備特點(diǎn):1.本設(shè)備為單面精密研磨設(shè)備,采用先進(jìn)的機(jī)械結(jié)構(gòu)和控制方法,研磨加工效率高,運(yùn)行穩(wěn)定。
2.整機(jī)采用PLC+觸摸屏控制系統(tǒng),設(shè)備參數(shù)設(shè)置和操作簡單方便,系統(tǒng)穩(wěn)定性高。
3.主電機(jī)采用變頻調(diào)速控制,實(shí)現(xiàn)主機(jī)軟啟動、軟停機(jī),降低設(shè)備運(yùn)行沖擊,減少工件損傷。
4.工件研磨壓力采用氣缸加壓方式,通過電氣比例閥控制實(shí)現(xiàn)壓力的閉環(huán)控制,保證極高的施壓精度與穩(wěn)定性。
5.上壓盤采用主動驅(qū)動方式,在確保產(chǎn)品研磨速率的前提下保證各工位研磨加工的統(tǒng)一性。
6.研磨盤與上壓盤都設(shè)置了冷卻水冷卻功能,在保證研磨液發(fā)揮最大效率的同時減少研磨盤面的變形。
7.設(shè)備自帶盤面修整機(jī),盤面修整后可保證0.01mm的盤面平整度。
設(shè)備參數(shù):
磨盤規(guī)格
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700mm
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陶瓷盤直徑
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240-260mm
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主電機(jī)功率
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4KW/380V
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壓盤電機(jī)功率
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0.4KW/380V*4(選配)
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主電機(jī)轉(zhuǎn)速
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100rpm(max)
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設(shè)備工位數(shù)
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4個
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設(shè)備規(guī)格
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1200*1500*2300mm
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設(shè)備重量
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2000KG
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設(shè)備圖片:
該設(shè)備磨拋效果: