很多人都問硅片是怎么處理的，那么下面我們來講講硅片在硅片研磨機(jī)前一道工序的處理方法。有以下幾種:

一、硅片預(yù)處理：

（1）.硅片切割：根據(jù)所需大小用玻璃刀進(jìn)行硅片切割。

 操作是需要在潔凈的環(huán)境中，并帶一次性手套避免污染硅片。桌面上放一張干凈的稱量紙，用鑷子夾硅片的邊緣，將硅片正面朝上放在稱量紙上， 然后再取一張干凈的稱量紙覆蓋在硅片的表面，留出硅片需要切割的部分，將切割專用的直尺放于覆蓋硅片的紙上壓住直尺，不超過待切割的紙面，以防直尺污染硅片。切割時(shí)玻璃刀沿直尺稍用力平行滑動(dòng)，不至于蔣硅片劃開，而是在硅片表面形成一道清晰的劃痕。（避免手套與硅片表面直接接觸）

大硅片切割可在硅片表面形成表格，用手沿著網(wǎng)格線輕輕掰動(dòng)，可形成大小合適的硅片。

將切割好的硅片用鑷子小心夾持，放在干凈的塑料平皿內(nèi)，正面朝上，用封口膜封好，放在干凈處保存待用。

二、硅基片表面的羥基化處理

（2）將切割好的硅片置于干凈的羥化燒杯中（專用），正面朝上。

用去離子水清洗3次，清洗時(shí)稍用力，使硅片能夠在燒杯中旋轉(zhuǎn)起來，以減少硅片之間的摩擦碰撞；將水倒干凈后，用移液管（過氧化氫專用）網(wǎng)燒杯中加入5ml過氧化氫（H2O2）,再加入（濃硫酸專用）15ml濃硫酸（H2O24），在搖床上緩慢或靜止30分鐘使之充分反應(yīng)，可使表面羥基化。

然后再按以上的方法清洗， 燒杯口的向下傾慢慢轉(zhuǎn)動(dòng)燒杯，使燒壁上的濃硫酸能洗去。清洗結(jié)束后，用大量的水保存硅拋片，硅片的正面朝上。

三、硅基片表面的氨基化處理

（3）取出氨化燒杯，先用無水乙醇清洗2次，然后倒入20ml無水乙醇，將步驟（2）反應(yīng)后獲得的羥基化硅片轉(zhuǎn)到氨化燒杯中，用無水乙醇清洗3次，清洗時(shí)同步驟（2）。清洗完后倒掉乙醇，加入3-氨基丙基三一乙氨基硅烷（APTES）和無水乙醇的混合液（1:15）或先加入無水乙醇，然后用移管加APTES,然后振搖2h。 結(jié)束后可以是硅片表面氨基化。

四、硅基片的甲基化處理

（4）倒掉上步反應(yīng)液體，用無水乙醇清洗3次，清洗步驟同上。洗完后吧硅片移到羧基化燒杯中，燒杯中含琥珀酸酐的無水乙醇飽和溶液，搖床振搖3h以上，反應(yīng)結(jié)束后可使硅片表面羧基化。然后用無水乙醇清洗，用大量無水乙醇中保存待用。注意：保持各專用燒杯清潔，處理過程中的硫酸要收集到廢液瓶中，做好標(biāo)記。

五、硅基片的醛基化處理

（5）接上步驟（3），倒掉反應(yīng)液體，用無水乙醇清洗3次，以除去氨基硅烷再用去離子水清洗3次，以除去無水乙醇，避免與醛基反應(yīng)。然后再用PBS溶液清洗2次，形成PBS環(huán)境，然后倒掉PBS溶液，將硅片亮面朝上，加入PBS的混合液和戊二醛（1:10）搖床振動(dòng)反應(yīng)1h。反應(yīng)結(jié)束后可使硅基片形成醛基化。倒掉反應(yīng)液體，用大量PBS清洗3次，然后鍵醛基化的硅片保存于PBS溶液中，以待下一步使用。

硅片的處理方法有很多種，這里只是簡單了描述以上的這幾種，這就是硅片在硅片在硅片研磨機(jī)前上一道工序的其中的五種處理方法。